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供應 四氯化硅成套處理系統(tǒng)，四氯化硅處理它 /www.hblgzp.net  |
規(guī) 格： |
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價 格： |
電議/ |
數(shù) 量： |
客戶要求 |
交貨地： |
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發(fā)布時間： |
2017-08-30 |
有效期： |
0天 |
備 注： |
四氯化硅處理成套系統(tǒng)
一、概述
四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是專門應用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置，利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，本系統(tǒng)已獲國家專利，經(jīng)產(chǎn)品投放市場，取得了良好的經(jīng)濟效益。
生產(chǎn)多晶硅是一個提純過程，主要原料是三氯氫硅，再用氫氣進行一次性還原，這個過程中約有25%的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅，其余大量進入尾氣，同時形成副產(chǎn)品——四氯化硅。四氯化硅是高危產(chǎn)品，遇空氣遇水會產(chǎn)生對人體有害的氯化氫氣體。在這個過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、氯化氫、氯氣等有害物質(zhì)極有可能外溢，存在重大的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1：15，即生產(chǎn)一噸多晶硅，就需要處理15噸的四氯化硅，處理量非常大。目前國內(nèi)處理多晶硅在技術(shù)上已經(jīng)開創(chuàng)出了兩個方式，一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產(chǎn)多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能徹底回收，還是會產(chǎn)生污染。第二種方法就是通過化工工藝將四氯化硅轉(zhuǎn)化成高附加值的化工產(chǎn)品，即無毒無害的二氧化硅，我公司經(jīng)過幾年的實踐與應用，成功地將本技術(shù)應用于本行業(yè)中，將尾氣“變廢為寶”。
二、工作原理
（1）、四氯化硅提純：
因四氯化硅中含有一些雜質(zhì)，為了得到品質(zhì)高的二氧化硅和鹽酸，將四氯化硅在蒸發(fā)器中蒸發(fā)，再經(jīng)精餾塔提純，使其得到純度非常高的四氯化硅氣體。
（2）、四氯化硅水解：
純的四氯化硅氣體進入到水解塔內(nèi)，同時循環(huán)液通過泵的作用使循環(huán)液均勻分布到各個霧化器當中，通過霧化器向下噴淋。與進入水解塔內(nèi)的四氯化硅發(fā)生反應，形成硅酸及氯化氫氣體。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸進入壓濾系統(tǒng)進行壓濾成為濾餅，再進入干燥機干燥后形成純度為99.85％的二氧化硅。
（4）、回收鹽酸：
氯化氫氣體進入降膜回收裝置，氣體與水反應生成鹽酸。同時冷卻水進入本裝置內(nèi)對氯化氫進行冷卻，以增加氯化氫的回收效率。
沒有反應完的氯化氫氣體再進入下一級吸收塔內(nèi)，再進行一次鹽酸的回收，最后氣體達標排放。
三、技術(shù)規(guī)格性能參數(shù)
本回收處理系統(tǒng)需根據(jù)多晶硅的生產(chǎn)量及具體情況進行有針對性的設(shè)計選型，詳情請與我廠聯(lián)系。
本系統(tǒng)可配備氣體在線分析儀、PH控制計、差壓變送器、壓力傳感器、流量傳感器、液位控制計、固體懸浮物濃度計、電磁閥、變頻器及控制柜等組成的控制系統(tǒng)，以上控制情況均以數(shù)字形式顯示在顯示器界面上，使管理人員一目了然，并有故障報警，便于管理與維護。自控系統(tǒng)可根據(jù)用戶要求進行手動、半自動和全自動控制設(shè)計。 |
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